薄膜在线测厚仪的有哪些测量原理？

薄膜在线测厚仪的测量原理有4种：射线技术，X射线技术，近红外技术和光学透过率技术

　2.1 射线技术

射线技术是最先应用于在线测厚技术上的射线技术，在上世纪60年代就已经广泛用于超薄薄膜的在线厚度测量了。它对于测量物没有要求，但传感器对温度和大气压的变化、以及薄膜上下波动敏感，设备对于辐射保护装置要求很高，而且信号源更换费用昂贵，Pm147源可用5-6年，Kr85源可用10年，更换费用均在6000美元左右。

2.2 X射线技术

这种技术极少为塑料薄膜生产线所采用。X光管寿命短，更换费用昂贵，一般可用2-3年，更换费用在5000美元左右，而且不适用于测量由多种元素构成的聚合物，信号源放射性强。X射线技术常用于钢板等单一元素的测量。

2.3 近红外技术

近红外技术在在线测厚领域的应用曾受到条纹干涉现象的影响，但现在近红外技术已经突破了条纹干涉现象对于超薄薄膜厚度测量的限制，完全可以进行多层薄膜总厚度的测量，并且由于红外技术自身的特点，还可以在测量复合薄膜总厚度的同时给出每一层材料的厚度。近红外技术可用于双向拉伸薄膜、流延膜和多层***挤薄膜，信 号源无放射性，设备维护难度相对较低。

2.4光学涂层技术

对于透光的材料，材料一定的情况下，透过率和测量的厚度成一一对应关系，所有通过测量材料的光学透过率（光密度）来达到测量材料厚度的目的，在卷绕式镀膜行业，如镀铝膜，各种包装膜，通过在线监测薄膜的透过率来在线监测生产的品质，已经是一种非常成熟的方案。如深圳市林上科技的LS152真空镀膜在线测厚仪就是利用光学透过率的原理来实现非接触式的在线测厚，该仪器支持RS485通讯接口和MODBUS通讯协议，可以与镀膜机上的PLC进行通讯实现闭环控制。